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华夫板是一种新型的结构系统。华夫格结构的质量直接影响洁净室的功能。根据附图的要求，如何合理，有效地安排施工程序，减少甚至消除华夫板楼板裂缝的泄漏，并一次控制混凝土表层的平整度。程度（设计要求表面平整度为3mx3m，且误差不超过3mm）是华夫板安装施工控制的重点。

华夫板适用于对清洁度和抗振动功能要求很高的精密仪器生产厂项目的生产，尤其适用于芯片厂的洁净室应用。下面介绍一下华夫板施工工艺原理。

一般洁净等级较高之洁净室，其厂房均设有次洁净区，使得洁净室中含微粒之气流经由高架地板及洁净室楼板进入到次洁净区，再由抽风设备将次洁净区之气流抽至洁净室天花板之滤网，重新过滤出洁净且稳定之气流，而产生一个循环系统，这使得洁净室楼板须留有足够之回风孔，使洁净室之气流经由此回风孔送到次洁净区。